温度计能测温度

体重秤能测体重

这背后发挥关键作用的就是

传感器

传感器就像是电子设备的“眼睛”和“耳朵”

能感知各种信息

比如温度、压力、光线等等

然后把这些信息变成电信号

让设备“看懂”“听懂”

“小物件”唤起“大能量”

今天就来聊聊

MEMS 压力传感器

“小巧玲珑”的它

是传感器家族里的一员

因为体积很小

可以集成在各种小小的设备里

专门负责测量压力

而基于Cavity-SOI 原理的

压阻式绝压压力传感器

是MEMS压力传感器中的一种特殊类型

凭借独特的技术原理和结构

它实现了更精准的绝对压力测量

比如您给轮胎打气时

想知道轮胎内部的压力到底够不够

或在工厂要确保管道中的液体压力处于安全范围

就得靠它来帮忙测量压力

它的工作原理是采用了一种巧妙的“压阻式”方法

可以把它想象成一个很敏感的小弹簧

当有压力作用在上面时

它就会被压缩或拉伸

从而改变内部的电阻

而通过检测这个电阻的变化

就能精确地知道压力的大小

Cavity-SOI技术是通过在SOI晶圆上

制造一个封闭的空腔来实现绝压测量

这就像是给这个传感器加上了一层超级防护

让它测量压力的时候更精准、更稳定

就好比给运动员穿上了合脚的跑鞋

能辅助他们跑得更快、发挥更稳定

在日常中，还有哪些场景与它相关？

在汽车领域，它是引擎管理系统、制动系统和气候控制系统的好帮手；在工业领域，它常用于液压系统、气动系统和过程控制系统，提供实时压力数据，帮助控制系统及时调整和维护；在医疗方面，它被用于呼吸机、血压监测仪和其他医疗设备；在消费电子领域，诸如智能手机、智能手表等产品中也有它的身影。

中国电科58所打造的150kPa和700kPa两款MEMS压阻式绝压压力传感器，具有高精度、高可靠、低功耗、稳定性强、抗干扰能力强、尺寸微型化等突出特点。

其中，150kPa的传感器常用于优化燃油喷射和点火时机，提升汽车的燃油效率和动力性能。在医疗领域，也能精准监测呼吸机中的气道压力，为患者的呼吸治疗提供可靠保障。在智能手机中，其气压计功能可帮助实现海拔高度测量和准确的天气预报。700kPa的传感器是涡轮增压引擎的得力伙伴，能够精确测量引擎压力，确保发动机在高负载下的安全运行。在医疗方面，对于像体外循环设备这类需要更高压力监测的设备，它能够提供精准数据，保障医疗操作的顺利进行。

目前，58所正在进行绝压产品压力量程系列化拓展，向着100kPa~2000kPa绝压压力量程产品全覆盖及量产化的目标前进。不断致力于技术创新和产品优化，为千行百业提供更多高性能、高可靠性的MEMS传感器产品。

关键词:传感器 压力传感器

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来 源：中国电科

编辑：清风

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